用于熱真空試驗的設備一般為熱真空試驗箱，或熱真空試驗艙。熱真空試驗設備的試驗容器的外部機體由優質不銹鋼制成，其設計得到有限元法FEM的分析支持，以便優化鋼的厚度，以承受內部和外部環境之間的壓差。

下面，我們以“環儀儀器”的熱真空試驗箱為例，來說說它的工作過程。

1.獲得溫度場

在熱真空試驗設備中放置樣品，關閉兩個圓盤形熱屏蔽罩將圓筒兩端封閉，以便在被測設備周圍獲得均勻的溫度場，以通過傳導傳熱進行熱循環。

2.抽真空和低溫

第一個真空階段（初級或初步抽真空）由干泵執行，其消除了返油風險并具有非常低的維護成本特點?？稍诙虝r間內從環境壓力轉變為約10-2毫巴的壓力。

第二個階段包括更復雜的泵（低溫泵），允許實現高真空與高可靠性性能。試驗箱內的典型最終壓力水平約為1×10-6毫巴，但根據時間可能降至10-8毫巴范圍內的值。

3.控制和管理系統

熱真空試驗箱的控制和管理系統由硬件和軟件的全自動組合而構成。通過控制系統的核心PLC來實現排序、安全聯鎖和操作員界面操作。PLC提供內置的子系統間級聯鎖，從而確保操作人員、試驗對象和設施設備的安全。同時提供HMI設備，用于將本地（機載面板）和遠程（PC專用軟件）控制裝置連接到PLC。

當然，上面所描述的熱真空試驗設備的運作過程，只是很簡單的講解，真正的測試過程，是很復雜的。

如果你對熱真空試驗的過程有疑問，可以咨詢我們的專業技術人員，獲取更專業的答復。